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超純水設(shè)備

產(chǎn)品介紹

 

超純水設(shè)備

一、超純水設(shè)備的定義與標(biāo)準(zhǔn)

超純水(Ultrapure Water, UPW)是指電阻率≥18.2 MΩ·cm(25℃)、總有機(jī)碳(TOC)≤5 ppb、顆粒物≤1個(gè)/mL的高純度水,幾乎不含任何離子、微生物和有機(jī)物。

 

二、核心工藝與設(shè)備組成

預(yù)處理系統(tǒng):

多介質(zhì)過濾器:去除懸浮物、膠體。

活性炭過濾器:吸附余氯、有機(jī)物。

軟化器:去除鈣鎂離子(防結(jié)垢)。

反滲透(RO)系統(tǒng):

脫除97%-99%的離子和有機(jī)物,產(chǎn)水電導(dǎo)率≤10 μS/cm。

電去離子(EDI)系統(tǒng):

通過離子交換膜和電場(chǎng)作用,進(jìn)一步純化至電阻率≥15 MΩ·cm。

后處理系統(tǒng):

紫外殺菌(UV):滅活微生物。

超濾(UF):去除熱原、納米級(jí)顆粒。

拋光混床:終級(jí)純化,達(dá)到18.2 MΩ·cm。

 

三、關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù) 典型值/說明

產(chǎn)水電阻率 ≥18.2 MΩ·cm(25℃)

TOC含量 ≤5 ppb

顆粒物(≥0.1μm) ≤1個(gè)/mL

產(chǎn)水量 0.5 m3/h - 100 m3/h(根據(jù)需求定制)

回收率 60%-85%(視原水水質(zhì))

運(yùn)行壓力 RO系統(tǒng):1.0-1.5 MPa;EDI系統(tǒng):0.2-0.7 MPa

 

四、應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)行業(yè)

各種鏡片的清洗。

半導(dǎo)體制造:

晶圓清洗、光刻膠稀釋,要求電阻率≥18.2 MΩ·cm,TOC≤1 ppb。

生物醫(yī)藥:

注射用水(WFI)、生物制劑生產(chǎn),符合GMP標(biāo)準(zhǔn)。

實(shí)驗(yàn)室:

分析儀器(HPLC、ICP-MS)用水,避免背景干擾。

光伏與鋰電:

太陽能硅片清洗、電解液配制。

 

五、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、設(shè)備工藝先進(jìn),做工精巧

2、正常使用壽命長(zhǎng),合格率高,達(dá)到進(jìn)口設(shè)備的技術(shù)水準(zhǔn),性價(jià)比更高。

3、我司有一支將近20年經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)及售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),從設(shè)計(jì)生產(chǎn)到售后服務(wù)為客戶提供專業(yè)化方案。

 

六、選型與維護(hù)建議

選型要點(diǎn):

水質(zhì)需求:半導(dǎo)體行業(yè)需18.2 MΩ·cm,醫(yī)藥行業(yè)可放寬至15 MΩ·cm。

產(chǎn)水量:根據(jù)生產(chǎn)線峰值用水量+20%冗余。

能耗:優(yōu)先選擇高效RO膜和低能耗EDI模塊。

維護(hù)保養(yǎng):

每日:檢查壓力、流量、電導(dǎo)率參數(shù),記錄運(yùn)行日志。

每月:清洗RO膜(化學(xué)清洗或反向沖洗),更換預(yù)處理濾芯。

每年:更換EDI模塊離子交換樹脂,校準(zhǔn)傳感器。

 

七、技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

智能化:物聯(lián)網(wǎng)(IoT)實(shí)時(shí)監(jiān)控水質(zhì),AI預(yù)測(cè)膜壽命。

綠色節(jié)能:開發(fā)低廢液排放工藝,提升水回收率至90%以上。

集成化:超純水設(shè)備與生產(chǎn)線直接耦合,減少儲(chǔ)水污染風(fēng)險(xiǎn)。

 

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